机构名称：
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在本文中，我们提出了电磁驱动的微型管理器的计量和控制方法和技术。电磁驱动的悬臂属于微分辨率和质量变化调查的微分辨率机械系统（MEMS）。在所述的实验中，研究了具有综合洛伦兹电流环的硅悬臂。使用经过修改的光束偏转（OBD）系统对电磁驱动的悬臂进行了表征，其架构得到了优化，以提高其分辨率。使用参考悬臂校准OBD系统的灵敏度，其弹簧常数是通过热力学噪声分析进行了干预的。使用优化和校准的OBD系统用于产生电磁扭曲的悬臂的共振和双向静态差异。在理论分析和进一步的实验之后，可以获得等于5.28 mV/nm的设置灵敏度。关键字：光束旋转，热机械噪声，低频噪声，电磁驱动的悬臂，洛伦兹力。
有风险的知识者：根据增强的表示，更新认识论
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