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甲状腺素相变材料(PCM)是一类独特的化合物,其可切换的光学和电子特性促进了微电子和麦克风学中新兴应用的爆炸。任何应用程序的关键是PCM可在大量循环中可靠切换在晶体和无定形状态之间的能力。在微电子记忆的情况下,该问题已经进行了广泛的研究,但当前基于PCM的光学设备的耐力较低。要了解限制PCM的故障机制,专门在微电体设备中耐力,我们开发了一个片上电阻的微型供电平台和一个自动多模式表征系统,以分析光学PCM的循环性能。证明了超过50,000个周期的大区块PCM设备可逆切换。
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