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抽象传感器在智力时代的信息感知中起着重要的作用,尤其是在环境监测和人类感知等领域。为了满足整个社会中信息获取的巨大要求,使用图案制造技术的详细传感器结构的开发对于提高传感器的性能很重要。创建模式的结构可以增强敏感材料和目标物质之间的相互作用,增加传感器和目标物质之间的接触面积,扩大目标物质对传感器结构的影响,并通过构建阵列增强信息传感的密度。本评论介绍了图案化的微纳米结构制造技术的全面概述,以增强灵活传感器的性能,包括打印,曝光光刻,霉菌方法,软光刻,纳米印刷光刻和激光直接写作技术。同时,它介绍了灵活传感器性能的评估方法,并讨论了图案结构如何影响这种性能。最后,根据不同类型的柔性传感器引入了一些实用的图案制造技术示例。本评论还总结了这些技术在增强这些技术中的作用的前景

通过高级图案技术制造高性能灵活传感器

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