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摘要：由导电和绝缘材料组成的多层微结构的生产备受关注，因为它们可用作微电子元件。当前提出的这些微结构的制造方法包括自上而下和自下而上的方法，每种方法都有各自的缺点。研究表明，基于激光的方法可以以微米/亚微米分辨率对各种材料进行图案化；然而，尚未实现具有导电/绝缘/导电特性的多层结构。在这里，我们展示了通过热驱动反应和微泡辅助打印相结合的方式激光打印由导电铂和绝缘氧化硅层组成的多层微结构。溶解在 N-甲基-2-吡咯烷酮 (NMP) 中的 PtCl 2 被用作形成导电 Pt 层的前体，而溶解在 NMP 中的四乙基正硅酸盐形成了由拉曼光谱识别的绝缘氧化硅层。我们通过改变激光功率和迭代次数，证明了绝缘层高度在 ∼ 50 至 250 nm 之间的控制。0.5 V 时氧化硅层的电阻率为 1.5 × 10 11 Ω m。我们发现其他材料多孔且易开裂，因此不适合用作绝缘体。最后，我们展示了微流体如何通过在前体之间快速切换来增强多层激光微打印。这里提出的概念可以为简单制造多层微电子设备提供新的机会。关键词：多层结构、微泡、导电/绝缘、图案形成、微流体■简介
多层交替导电和绝缘微结构的激光打印
主要关键词
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