机构名称：
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这项新技术被称为坚固耐用的宽范围氢气传感器（如图 2 和图 3 所示），是通过将特殊催化合金膜集成到桑迪亚现有的互补金属氧化物半导体 (CMOS) 微电子技术中而创建的。氢气传感器在场效应晶体管传感器上使用催化钯镍 (PdNi) 栅极金属化来检测低浓度的氢气（百万分之一）；使用 PdNi 电阻传感器来检测更高浓度的氢气（高达 100％）；使用片上微型温度计和微型加热器来保持恒定的芯片温度（见图 3 中的横截面）。定制控制、通信和其他特殊功能电子设备可以制造在包含传感器元件的同一小块硅片上。该项目使用的独特 PdNi 催化合金已获得专利。
氢传感器
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