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静电掺杂旨在用超薄 MOS 结构中栅极诱导的自由电子/空穴电荷取代施主/受主掺杂剂种类。高掺杂的 N + /P + 端子和虚拟 PN 结可以在未掺杂层中模拟,从而促进具有丰富功能的创新可重构设备。其独特优点是载流子浓度和极性(即静电掺杂)可通过栅极偏置进行调整。在介绍基础知识之后,我们将回顾采用新兴或成熟技术(纳米线、纳米管、2D 材料、FD-SOI)制造的静电掺杂设备系列。通过强调与传统物理二极管的区别,讨论了 Hocus Pocus 二极管的多个方面。静电掺杂产生了许多具有出色记忆性和锐切换能力的频带调制设备。详细描述了其概念、内在机制和典型应用。

静电掺杂的概念及相关装置

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