机构名称：
¥ 1.0
摘要：微光机电系统（MOEMS）结合了微机电系统（MEMS）和微光学的优点，能够实现独特的光学功能，具有广泛的先进应用。硅基 MOEMS 通过简单的外部机电控制方法，如静电、磁或热效应，实现精确的动态光调制。本文简要回顾了硅基 MOEMS 的技术与应用，简要介绍了其基本工作原理、优点、常用材料和微加工制造技术，并介绍了微镜/微镜阵列、微光谱仪、光学/光子开关等先进硅基 MOEMS 器件的研究进展。由于硅基 MOEMS 在空间光调制和高速信号处理方面的独特优势，它们在光通信、数字光处理和光传感方面有着广泛的应用前景。最后对Si基MOEMS未来的研究和发展前景进行了展望。
硅基微纳技术与应用...
主要关键词
相关文件推荐
