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1 有研院集团有限公司智能传感新材料国家重点实验室，北京 100088；gangrongli@foxmail.com（GL）；jinqingxi@foxmail.com（QJ）；wangguozhi0809@126.com（GW）；zhuyancxy@foxmail.com（YZ）；yunkong0503@163.com（YK）；zhaohongbin@grinm.com（HZ）；tuhl@grinm.com（HT）2 有研院工程设计有限公司，北京 101407 3 北京有色金属研究总院，北京 100088 4 北方工业大学信息科学与技术学院，北京 100144；weishuhua@ncut.edu.cn（SW）；zhangj@ncut.edu.cn（JZ）； hujiawei@ime.ac.cn (JH) 5 中国科学院微电子研究所先进集成电路研究发展中心，北京 100029，中国；zhangqingzhu@ime.ac.cn * 通信地址：weiqianhui@grinm.com (QW)；weifeng@grinm.com (FW) † 这些作者对本文的贡献相同。
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