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摘要：热光 (TO) 调制器在波长路由器、激光雷达、光学计算和其他可重构光子系统中发挥着越来越重要的作用。由于 TiO 2 纤芯和具有负热光系数的 SU-8 包层之间的协同效应，首次在 1310 nm 波段展示了基于溶胶-凝胶 TiO 2 平台的高效 TO 可调微环谐振器 (MRR)。以 SU-8 聚合物为顶部包层的 MRR 调制器表现出 33.0 pm/mW 的热调谐效率，比采用二氧化硅顶部包层的 MRR 调制器高 14 倍以上。它的上升/下降时间为 9.4 us/24 us，P π 功率为 7.22 mW，表明在允许在不同基板上进行单片集成的非晶材料平台中，TO 调制器具有相对较高的品质因数。这些结果为溶胶-凝胶 TiO 2 平台在光子集成电路中的应用带来了巨大的希望，并为设计可穿戴设备、可见光/红外通信和生物光子应用中的紧凑高效的 TO 调制器提供了新的视角。
高效紧凑的溶胶-凝胶 TiO2 热光微环谐振器调制器
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