机构名称：
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光学成像系统（显微镜、望远镜或照相机）的分辨率可能受到镜头缺陷或错位（смещение）等因素的限制。然而，由于衍射的物理特性，任何光学系统的分辨率都有一个主要限制。分辨率性能达到仪器理论极限的光学系统被称为衍射极限。
扫描电子显微镜（SEM）
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