定义 为简化 ISO 14644-1:2015,以下对修订相关章节进行了总结。 ISO 14644-1:2015 洁净室和相关环境 第 1 部分 按粒子浓度对空气洁净度进行分类 本节以空气体积浓度表示的粒子数量规定了世界洁净室和受控环境的空气洁净度等级。要确定等级,需要采用指定的测试方法,包括选择取样位置。 ISO 14644-1 简介 ISO 14644-1 是一系列文件的第一章,这些文件描述了洁净室设计、操作和控制中要采用的方法、程序和限值。该标准用于微电子、制药、航空航天、医疗器械、医疗保健和食品生产等不同行业。它以空气体积浓度表示的粒子数量规定了世界洁净室和受控环境的空气洁净度等级。要确定等级,需要采用指定的测试方法,包括对采样位置进行战略性选择。 ISO 14644-1 范围 本国际标准的范围是提供用于洁净室认证的空气悬浮颗粒浓度方面的指南、规范和规则。 ISO 14644-1 涉及所有分类考虑因素,这些因素具有基于阈值(下限)尺寸的累积分布,范围从 0.1 µm 到 5 µm。 较低的颗粒尺寸浓度限值(纳米颗粒)在 ISO 14644-12 中讨论。
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