机构名称：
¥ 1.0
可以使用微型和纳米机电系统（MEMS和NEMS）使用电子方法来驱动谐振器的机械模式。这些谐振器在检测质量[8]，[9]，力[10]，[11]，气体[12]和磁[13]方面表现出巨大的潜力。然而，所描述的机制具有几个相关的缺点，例如非线性输出，短路电势以及对高驱动电压的需求。基于调制的光学功率直接耦合到谐振器的光学驾驶已被提议作为解决上述问题的有效方法。使用光学驾驶和读数系统开发了许多机械谐振器。这些谐振器包括光力学磁力计[14]，[15]，光学加速度计[16]和位移传感器[17]，[18]。
Optically Driven Nano-Beam Resonator for Hydrogen Sensing
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