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X射线光电子光谱(XPS)数据的解释依赖于依赖几个参数的测量模型,包括光电衰减长度和X射线光子量。但是,其中一些参数尚不清楚,因为它们没有或无法测量。未知的几何参数可以在多弹性因子(对齐参数)中汇总在一起。此参数表征了令人兴奋的光与样品相互作用的能力。不幸的是,对齐参数的绝对值不能直接测量,部分原因是它取决于测量模型。相反,通常估计实验对准的代理,这与对齐参数密切相关。在此,一种基于原始XPS光谱的对齐参数的绝对值的方法(即未加工的光电子计数),显示样品的几何形状和光电子衰减长度。提出的参数估计方法可以使用简化的测量模型对XPS光谱进行定量分析。所有计算都可以在开放和免费的Julia语言框架预言中执行。为了证明可行性,对对齐参数估计方法进行了首次测试,并在模拟数据上使用已知的采集参数进行测试。然后将该方法应用于实验XPS数据,并显示了估计比对参数与典型使用的对齐代理之间的强相关性。

分析X射线光电子光谱的定量比对参数估计

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