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在微型,基于芯片的平台中生成超低噪声微波和MMWave可以改变通信,雷达和传感系统1-3。利用光学参考和光学频率梳的光频分割已成为一种强大的技术,可以比其他任何方法4-7生成具有优越光谱纯度的微波。在这里,我们演示了一个微型的光频分割系统,该系统可以将方法可能传递到互补的金属 - 氧化物 - 氧化物 - 兼容兼容的集成光子平台。相位稳定性由大模式体积,基于平面波导的光学参考线圈腔8,9提供,并通过使用在波导偶联的微孔子10–12中生成的soliton microcombs将其从光学到MMWave频率分配。除了实现集成光子MMWave振荡器的记录 - 低相位噪声外,这些设备还可以与半导体激光器,放大器和光电二极管异质整合,具有大量,低尺寸的基本和大型市场应用的低尺寸生产的潜力13。

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