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直接观察超大型望远镜的METIS仪器对系外行星和原始磁盘的直接观察将为行星形成和系外行星大气的过程提供新的见解。这是由于功能强大的矢量涡流冠状动曲，可以抑制星光以揭示周围微弱的信号。在这里，我们介绍了将相位掩膜处于冠状动脉核心的过程。这些环形凹槽相掩膜由钻石中的深层次波长组成，这些光栅使用具有强偏见的电感耦合氧等离子体蚀刻。METIS仪器所需的带宽比以前证明了此类com ponents的带宽，从而导致具有更高纵横比和更垂直壁的光栅设计。为了实现这一目标，用于钻石蚀刻的蚀刻面膜从铝更改为硅，并增加了血浆功率。我们还改进了减少成品成分的光栅深度以微调它们的方法。以及改进的光学测试，这使我们能够生成迄今为止为天文N波段展示的最佳涡旋相掩码。
钻石和相关材料
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