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摘要：由于它们的非接触式和快速测量功能，激光干涉仪代表了表面验证仪的触觉手写笔仪器的有趣替代方法。除了这些出色的属性外，收购成本在行业中起着重要作用，限制了光学辅助仪的频繁使用，而光学仪比触觉修理仪昂贵得多。我们提出一个低成本激光测量干涉仪，其轴向重复性以低于1 nm的速度，以每秒38,000高的高度值。传感器的性能已在几个表面标准上进行了验证，可达到高达160 mm/s的横向扫描速度。进一步到高扫描速度，高采集率通过平均测量高度值来提高测量精度。例如，可以将625 pm的标准偏差用于重复测量值，以牺牲数据速率为代价。但是，传感器概念为进一步提高数据速率和测量可重复性提供了潜力。
低成本的高速纤维耦合干涉仪，用于精确的表面经理测量法
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