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摘要 — 近来提出了通过太赫兹频率的伪表面等离子体极化子 (SSPP) 超表面进行芯片间信息传播的概念，该概念有望实现高带宽、低串扰和低能耗的数据传输。由于超表面的奇异电磁特性源自其设计的几何图案和周期性，因此制造工艺参数的任何可能变化都可能影响设计图案，从而影响 SSPP 互连的信息容量。在这项工作中，我们研究了超表面几何图案统计变化对 SSPP 互连性能的影响程度。我们还描述了设计适当模拟电路的技术，以便可以实时恢复由工艺变化引起的信号完整性损失。索引术语 — 伪等离子体、互连、可变性、补偿技术
欺骗等离子体互连中的工艺变化
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