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在过去的几十年中，数字和模拟集成电路的集成密度和性能经历了一场惊人的革命。虽然创新的电路和系统设计可以解释这些性能提升的部分原因，但技术一直是主要驱动力。本课程将研究促成集成电路革命的基本微制造工艺技术，并研究新技术。目标是首先传授构建微型和纳米器件的方法和工艺的实际知识，然后教授将这些方法组合成可产生任意器件的工艺序列的方法。虽然本课程的重点是晶体管器件，但许多要教授的方法也适用于 MEMS 和其他微型器件。本课程专为对硅 VLSI 芯片制造的物理基础和实用方法或技术对器件和电路设计的影响感兴趣的学生而设计。30260133 电子学基础 3 学分 48 学时
微电子与纳电子学系
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