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¥ 1.0
讲师：CR (Selva) Selvakumar 办公室：DC 3712，电话：x 33978（不适用于 W2021，发送电子邮件）电子邮件：selvakumar@uwaterloo.ca 网站：参见 UW-LEARN 本课程将介绍集成电路制造的原理和实践。主要重点是硅技术，尽管也将涉及 GaAs 和其他复合半导体技术的几个方面。本课程旨在涵盖的主题包括：1. 半导体 IC 工艺技术概述。2. 晶体生长（Czochralski、浮区、抛光、吸杂、挑战）3. 氧化（动力学、Deal-Grove 模型、速率常数、高压氧化、
E&CE 631 微电子加工技术
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