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三维(3D)功能结构因其在广泛应用领域中的潜在用途而备受关注,从具有非常规工程设计的宏观设备(例如可折叠太阳能电池板和可伸缩屋顶),到包含微/纳米级特征的更具挑战性和更复杂的设备[1–5](例如光跟踪光电探测器[6,7]和功能性生物传感器[8–12])。在这些应用示例中,结构的3D架构提供了独特且重要的功能,超出了平面系统可以实现的功能。例子包括可以感知三维空间中的电磁波并与之相互作用的光学设备[6,13],由于3D结构的大表面积而具有高面积能量密度的储能设备[14,15],以及与本质上的3D生物系统无缝对接的生物医学设备[9,11,12]。这种复杂的三维结构,尤其是纳米级结构,很难通过扩展传统二维(2D)微系统技术中使用的方法来实现,因为传统二维微系统技术是通过一系列

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