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尽管干涉方法（例如WLI和PSI）在粗糙的表面上产生良好的结果（请参见图5下一页），但它们并不适合每个应用程序。例如，诸如干扰过滤器中使用的涂层可以引入相变形或额外的干扰条纹，从而导致结果不准确。包含具有非常不同光学特性的区域的样品也会产生测量误差。在宽波长范围内具有高传输的涂层，例如反射性涂料，可能无法充分反映出良好的测量。动态范围限制也是高度弯曲表面或具有急剧变化的表面的考虑。具有PSI，高度变化大于相邻像素之间的几百纳米可能会导致测量问题。
高级光学组件的原子力显微镜
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