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具有宽带宽和高线性
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具有宽带宽和高线性

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在过去的几十年中，人们对微机电系统（MEMS）的陀螺仪的关注已增加，因为它们的低成本，小尺寸和适度性能的显着优势[1-5]。MEMS陀螺仪已实现了从消费产品到汽车和航空航天的大型激动人心的应用程序，例如数码相机中的光学图像稳定器，自动动力的反滚动器和电子稳定控制（ESC）系统，以及无人驾驶汽车（无人驾驶汽车（UAV）的短距离导航[6,7]。对称和完全解耦的结构设计是为了提高MEMS陀螺仪的性能，该陀螺仪的性能很高，它具有很高的外部机械扰动的稳定性，并且在驱动器之间表现出极好的机械解耦能力

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