摘要。本文着重于被动设备的完全集成,尤其是使用图案化接地屏蔽(PGS)和完全集成的电容器的完全集成电感器的多层堆叠(MLS)结构。不同结构的比较集中在集成电感器的主要电参数上(例如诱导𝐿,电感密度𝐿𝐿,质量因子𝑄,最大质量因子的频率最大频率最大,自动恢复频率FSR和串联电阻𝑅DC)和其他非电力参数(例如,所需的区域,制造过程,权限等)在结构比较过程中同样重要。根据制造过程提出了过去几年报告的最显着结果的电感结构。最终的几何和电气特性是在大型元素中,以综合被动装置的制造过程。这项工作概述了集成电感器的概述和最先进的作品,以及用于制造的制造过程。本文的第二个目的是将我们先前工作中提出的结构插入过去7年中报告的其他结果中。使用拟议的解决方案,可以在标准技术中报道的类似的解决方案中获得最高的电感密度= 23.59 nh/mm 2和第二高质量的FACTOR𝑄= 10.09,该解决方案也适合在高级技术节点中生产的集成感应器。
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