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引言在过去十年中，我们观察到了基于超导体的量子计算平台的快速发展[1,2]。的确，拥有400多个超导码头的量子计算机现在是现实[3]。量子计算机的实现涉及将约瑟夫森结与其他量子限制的超导组件（例如读取线和参数放大器）的整合。要在量子限制下运行，超导电路组件需要满足有关组件S的物理（例如比例和维度），电气（例如临界电流和连接电容）和功能特性（例如，谐振频率和偶数效率）的某些要求。因此，包括组件要求，设计环境和设计规则检查的精确制造指南对于生成功能性超导量子计算机设备至关重要。制造指南与过程设计套件（PDK）相关。PDK不仅包含有关制造过程中使用的所有掩模层的一组规则，还包含铸造厂提供的基本组件库，以促进设计过程。此外，PDK环境还提供自动设计规则检查（DRC），以确保未违反铸造规则。例如，它包括检查指定层或两个不同层之间的间距允许的最小宽度的规则。PDK组件库提供参考设计和/或参数化的单元格（P细胞），以帮助设计师以时间效率的方式构建其布局。PDK中有更多组件，但是本文的重点将放在P细胞或布局设备上。PDK。在这份白皮书中，我们简要概述了SIEEMENS L-EDIT内置的超导组件PDK [4]，用于Star Cryoelectronics的制造过程[5]。我们首先提供了不同超导设备的简要概述，然后对L-Edit的描述进行了描述，并讨论了如何在L-Edit中使用Caliber执行DRC。接下来，我们介绍为星际冷冻电子制造过程创建的各种固定和自动化的参考设计单元。最后，我们讨论了如何使用L-EDIT中的Coplanar波导（CPW）执行自动路由。
白皮书：用于超导组件的工艺设计套件
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