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使用XPS
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喷雾热解方法用于用lutetium（iii）氯化物作为源材料和水作为氧化剂来沉积氧化柠檬（Lu 2 O 3）薄膜。nealing在450°C的氩气气氛中进行60分钟。研究了使用X射线光电谱光谱法（XPS）的深度剖面研究，研究了喷射的和退火的Lu 2 O 3薄膜的组成和化学计量。在内部和表面层中都观察到了退火和沉积膜的几乎化学计量。关键字

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