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钼-金双层膜的光刻蚀 Kiyotake NARAOKA
机构名称：

钼-金双层膜的光刻蚀 Kiyotake NARAOKA

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钼和金双金属在微电子中用作互连导体。为了对双金属进行光刻蚀，首先用一种新的金蚀刻剂蚀刻金层，该蚀刻剂是由碘和碘化鎓在乙醇和水的混合物中的溶液组成。在金蚀刻过程中没有观察到钼层的溶解，因为蚀刻剂不会侵蚀钼。

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钼-金双层膜的光刻蚀 Kiyotake NARAOKA

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