X射线具有低于10 KEV的能量的X射线具有较弱的穿透能力,因此,只有几微米的厚度的黄金或二晶型X射线可以保证高于70%的量子效率。因此,可以使用微加工过程实现TES X射线检测器的整个结构。但是,对于从10 keV到200 keV的X射线或γ射线,需要使用微分化过程来实现亚毫升吸收层。本文首先简要介绍了一组TES X射线检测器及其辅助系统,然后专注于基于亚毫米型铅荷合金球的吸收剂的TESγ-Ray检测器的引入。检测器在100 keV附近达到了70%以上的量子效率,在59.5 keV时的能量分辨率约为161.5 eV。