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摘要：电击环境中MEMS的可靠性是一个复杂的领域，涉及结构动力学，断裂力学和系统可靠性理论等。随着在汽车，物联网，航空航天和其他恶劣环境中使用MEMS的增长，需要深入了解电击环境中MEMS的可靠性。尽管有许多文章的贡献，这些文章概述了MEMS的可靠性，但迄今为止，该审查论文特别关注MEMS的可靠性研究。This paper reviews studies which examine the reliability of MEMS in shock environments from 2000 to 2020 in six sub-areas, which are: (i) response model of microstructure, (ii) shock experimental progresses, (iii) shock resistant microstructures, (iv) reliability quantification models of microstructure, (v) electronics- system-level reliability, and (vi) the coupling phenomenon of shock with其他因素。本文围绕电击环境中MEMS可靠性的概述填写差距。通过这六个子区域的框架，我们提出了一些可能值得关注的方向来进行未来的研究。
MEMS在冲击环境中的可靠性：2000–2020
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