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定向耦合器广泛用于光子集成电路，作为高效片上光子信号路由的基本元件。传统上，定向耦合器完全封装在该技术的波导包层材料中。在本文中，我们展示了一种紧凑的宽带定向耦合器，它完全悬浮在空气中，并在交叉状态下表现出高效的功率耦合。该耦合器是基于 IMEC 的 iSiPP50G 标准平台设计和制造的，基于水氟 (HF) 蒸汽蚀刻的后处理允许释放独立组件。实验证实了 λ = 1560 nm 时的低插入损耗 0.5 dB 和 λ = 1550 nm 时的 1 dB 带宽 35 nm。该定向耦合器体积小巧，仅为 20 µ m × 30 µ m，机械稳定性高，可作为大规模硅光子微机电系统 (MEMS) 电路的基本构建模块。© 2020 美国光学学会
紧凑型宽带悬浮硅光子定向耦合器
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