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摘要——如今，惯性测量单元已广泛应用于多种应用，例如汽车和自动驾驶汽车、无人驾驶飞行器、手机、机器人、人工智能等。尽管如此，最近的文献并没有正确涵盖微电子设备在真实环境条件下运行时的动态计量性能表征和可靠性分析。为了填补这一空白，本文提出了在振动条件下表征惯性测量单元的方法，即通过步进测试振动曲线来测试在不同频率下受到正弦振动的惯性平台的行为。从广为人知的正弦扫描振动曲线开始，制定了一个定制的测试计划，该计划基于正弦刺激随时间的频率递增，以研究惯性平台的频率响应。对一组真实设备的应用证实，所提出的测试可以识别机械应力对频域内微机电传感器计量性能的影响。所开发的测试计划还可用于调查特定频率的正弦振动是否会触发一些通常静止的故障机制。关键词 - 诊断；惯性测量单元；MEMS；测试；振动。
惯性测量装置性能分析的振动阶跃试验
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