摘要:通过真空气相沉积工艺合成薄膜和涂层可以定制微观结构和成分,以获得结合机械、摩擦学、电化学、光学、电气和其他特性以及涂层系统在恶劣环境中的耐久性等良好控制的功能和多功能特性。本演讲将介绍一种整体功能涂层和表面工程方法,依靠对材料、工艺和微观结构之间相互作用与最终性能的深入了解。在第一部分中,我们将简要概述采用物理气相沉积(PVD,特别是磁控溅射包括 HiPIMS 和真空电弧沉积)和化学气相沉积(CVD,特别是等离子增强 CVD(PECVD)和原子层沉积(ALD))的薄膜制造技术的进展,特别强调对能量表面相互作用的理解,以控制纳米级涂层微观结构的演变。在第二部分中,我们将通过飞机和卫星不同部件的具体示例和案例研究,说明航空航天和外层空间应用功能涂层开发面临的挑战、进展和新机遇。选定的示例包括:
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