主题 1:开发纳米和微米范围内的力值基准 开发微米和纳米力值基准在先进制造、微机电系统 (MEMS)、微流体、纳米技术以及制药和医疗设备等领域变得越来越重要。高精度表面张力和材料机械性能测量对于改进生产工艺和评估其质量至关重要,特别是在使用涂层或纳米沉积工艺的情况下。在上述领域,正在或已经开发出新的测量技术,关键是将这些技术应用于特定的测量对象并获得最终用户群体的认可。然而,开发这些尺度的力值的准确可靠的测量技术仍处于起步阶段。本提案旨在通过开发微米和纳米力值基准来解决这一差距,这些基准可用于校准和验证这些尺度的力值测量设备的准确性。因此,需要开发新技术和标准,以在低不确定度水平下生成已知的准确可靠的力值测量结果。本博士论文的目标是:1. 开发微力和纳米力的主要标准,可用于校准和验证这些尺度上的力测量设备的准确性。2. 研究表面相互作用、摩擦和粘附对微力和纳米力测量的影响。3. 评估相关的不确定性和影响因素
主要关键词