过去几年已经看到了SIGE异质结双极晶体管(HBT)技术的显着进步。今天,Sige-Base HBTS的使用越来越多地在无线和高速数字通信中流行。在这些晶体管中,带隙分级产生了一个漂移场,这有助于少数载体通过基座运输。这一事实已被用来实现具有高切割频率F t(超过100 GHz)的设备。在文献[1-5]中广泛研究了SIGE HBTS中的基本运输时间的GE PROFE和BASE掺杂量的设计。三角形的ge profle在优化底座中的带隙分级有效,以最大程度地减少t b sige(基本运输时间 - f t中的主要因素)。由于已经检查了指数碱基的掺杂掺杂率和类似的基础[4,5],我们的目的是对底座中掺杂剂的高斯分布进行处理。在常规设备中,这种分布导致基本运输时间降低[6],因此估计其对SIGE HBT的影响是有用的。此外,在实际晶体管中,掺杂填充物比高斯分布更接近于指数。对SIGE HBT的两个重要参数进行了建模,即基本运输时间和当前增益。模型不仅是高掺杂效应的,而且还依赖于di usion系数的依赖性对漂移轨道和沿基数的可变GE浓度。基础中的两种类型的GE分布进行了检查:三角形的一个和框一[4,7]。
主要关键词