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•扫描电子显微镜是使用精细的能量电子束来观察和分析散装样品的表面微观结构的仪器。•电子光系统用于形成电子探针,该探针可以以栅格模式在样品表面扫描。•通过该梁与样品的相互作用产生了各种信号。可以通过适当检测器的应用来收集或分析这些信号。•对于成像,可以组装在栅格图案中每个位置上获得的信号振幅以形成图像。

扫描电子显微镜(SEM)

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