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摘要 摘要 集成光子学是下一代信息技术中发展迅速的研究领域,目前的硅光子集成芯片很大程度上受益于现有CMOS工艺的低成本、高密度集成特性,但受限于硅的物理性质,它并不是制作各种光电器件(如激光源、调制器、红外探测器等)的理想材料。因此,异质集成结合CMOS工艺的优势和异质材料体系的优良光电性能,是迈向下一代集成光电子芯片的重要一步。本文介绍了集成光子学在国内外的快速发展,并讨论了该领域的潜在发展方向和机遇。

硅光子异质集成的发展与思考

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