硅通孔技术是一种有前途的、可优先实现三维集成电路(3-D IC)可靠互连的方法,可将多个芯片的热量沿垂直方向传递到热沉。本文提出了一种新的硅通孔(TSV)通用模型来研究3-D IC的热性能。首次研究了锥环TSV的传热特性。详细比较和分析了不同侧壁倾角和TSV绝缘层厚度对3-D IC散热的影响。正如预期的那样,我们提出的模型与现有模型的结果一致性很好,这表明考虑横向传热和TSV结构的模型可以更有效、更准确地预测温度分布。此外,研究发现锥环TSV具有更优异的散热性能。关键词 : 3-D集成电路,解析热模型,
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