机构名称：
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摘要：我们报告了一种嵌段共聚物 (BCP) 定向自组装 (DSA) 的方法，其中第一层 BCP 膜部署均聚物刷或“墨水”，这些刷或“墨水”在现有聚合物刷上方的聚合物膜热退火期间通过聚合物分子的相互渗透依次接枝到基材表面。通过选择具有所需化学性质和适当相对分子量的聚合物“墨水”，可以使用刷相互渗透作为一种强大的技术，以与 BCP 域相同频率生成自配准的化学对比模式。结果是一种对引导模式中的尺寸和化学缺陷具有更高容忍度的工艺，我们通过使用均聚物刷作为引导特征而不是更坚固的可交联垫来实现 DSA 来展示这一点。我们发现使用“油墨”不会影响线宽粗糙度，并且通过实施稳健的“干剥离”图案转移，验证了 DSA 作为光刻掩模的质量。关键词：定向自组装、嵌段共聚物、薄膜、先进光刻、缺陷率■ 简介
嵌段共聚物的组装
主要关键词
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