在高能量物理中使用的大探测器系统中相互作用点附近的像素阵列的发展需要像素及其读数的高辐射硬度。基于量子井的像素设备,称为dotpix使用带有控制门的传感N通道MOS设备。埋入的GE层充当当前的调制门,该栅极定位通过撞击颗粒而产生的孔。通过si上GE的低温外延生长获得了Dotpix埋入的GE门。我们已经开始研究实现这些先决条件的不同方法:需要低温预算来减少GE和SI相互混合,这可能对DotPix操作有害。使用Si热氧化物与沉积的氧化物(例如氧化物)一起研究,这与二氧化硅不同。在这项研究中,二氧化硅和沉积的氧化物结合的可能性为另一种可能性。
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