摘要 - 通过利用亚波长等离子设备来实现紧凑的光学整合电路,需要设计紧凑和有效的光子对等离激元模式转换器的设计。尤其是对于需要多个转换器的等离子多输入设备,例如逻辑门,可以在很大程度上通过光子波导将足迹构成,这应该在设计中考虑。在这项工作中,我们为应用多输入等离子体设备的应用模拟和基准五个Photonic to for等离子体模式转换器拓扑。我们的设计包括等离子波导的定向和末端耦合方案,以及线和插槽构造的Si光子波导。考虑到光子波导和等离子波导,总足迹以及模式转换效率之间的音高不匹配,我们优化了转换器的性能。