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Medipost的电容3轴MEMS加速度计
摘要：MEMS传感器的不断开发和微型化总是为它们在与健康相关和医疗应用中使用的新可能性提供了新的可能性。MEMS设备在弹性系统中的应用允许更快的诊断，并显着促进医务人员的工作。MEMS加速度计构成此类系统的重要组成部分，尤其是那些用于监测失衡障碍患者的系统。此类传感器的正确设计对于收集有关患者运动的数据和确保整个系统的整体性能至关重要。本文介绍了专门用于跟踪患者运动的设备的三轴加速度计的设计和测量。它的主要重点是传感器的表征，比较不同的设计并评估包装和读取电路集成对传感器操作的影响。广泛的测试和测量结果确保了设计的加速度计正常工作，并允许在灵敏度/稳定性方面识别最佳设计。此外，仅当读数电路与MEMS传感器集成在相同的包装中时，提出的传感器作为应用加速度的函数的响应才能证明非常好的线性。
关于MEMS最近发展的评论论文...
1名学生，2个学生，全印度Shri Shivaji纪念协会工程学院机械工程系，印度浦那-01，印度摘要：MEMS：MEMS（Micro-Electromechanical Systems）是一项先进的技术，是一项先进的技术，它在多个领域中找到了其应用于多个领域，即自动性电子设备，医疗设备，硬盘驱动器，计算机外观，无用的Devices，无线电话，无线电话。本文专注于在汽车字段中仅应用MEMS设备的应用。压力传感器的汽车需求最大。压力传感器后，第二大需求是加速度计传感器。也需要其他传感器，例如声学，水分和压电传感器。近年来，具有广泛MEMS传感器的MEMS技术已在汽车行业中广泛使用，以至于至少30个具有100个传感器节点的现代车辆的传感器节点是MEMS，并且汽车行业是MEMS技术的第二大市场。关键字：MEM，压力传感器，汽车应用简介MEMS技术在各个应用领域都发现其重要性。该领域包括汽车，健康科学，工程结构，电气，物理，电子产品等。mems传感器已被汽车行业所接受，以提高绩效，降低成本并提高家庭轿车的可靠性，这在发展中国家至关重要。实际上，在过去的十年中，汽车已使用了数亿个MEMS传感器。这些传感器中的许多（例如MEMS压力传感器）只需用更便宜，更可靠的设备代替旧技术即可。MEMS设备的吸引人特征使几个研究人员对其进行了吸引，包括其高灵敏度，高灵活性，高可靠性，由于其微型尺寸，并行性等等，其在单个芯片上集成的能力。本文强调了汽车中MEMS传感器应用的主要领域。谈论MEMS组件，它主要由四个主要组成部分：微型抗体，微传感器，微结构和微电子学。1.1 M EMS制造大多数MEMS制造方法都是从标准IC技术中采用的。最常见的技术是：散装微加工和表面微加工。1）在散装微加工中进行体积微加工，通过选择性去除基材的部分，直接在硅晶片上建立了3D微型机械结构。底物上的裸露区域进行进一步的化学蚀刻。2）各向异性蚀刻利用硅晶格的晶体学结构。3）在此中的各向同性蚀刻硅底物是在所有方向上的攻击。4）表面微加工表面微加工是基于底物上层的沉积，以及通过光刻技术的随后定义微型机械结构的定义。
用于医疗应用的电容性mems麦克风
麦克风根据MEMS技术制造，由于其微型尺寸，由于温度变化而导致低能消耗，因此发现了新的应用（微电动机械系统）。在物联网技术传播之后，微型高效MEMS麦克风对医疗设备的需求增加了[1]。对人体特征的持续监测al-lows在早期阶段检测健康问题并找到及时的医疗治疗。例如，第[2]介绍了血压与第二心脏声音S2之间相关性的研究结果。可以通过测量音调心脏的声音来检查血压。但是，大多数MEMS微型型可以彻底处理声频范围（20-20000 Hz）。此外，血压脉冲频率构成1.5–2.1 Hz [3]。因此，开发可具有1到20 Hz的适当电特性的低频MEMS麦克风已成为一项关键任务。
微机电系统 (MEMS) 综合回顾
3 中央水利电力研究站，印度浦那 摘要：微机电系统 (MEMS) 已成为一项突破性技术，广泛应用于从消费电子产品到医疗保健和商业等各个行业。本研究重点介绍了基本概念、操作原理和多种 MEMS 应用。MEMS 技术结合了小型机械和电气部件，可创建微米或纳米级的设备。MEMS 设备以其感知、控制和改变微小物理过程的能力而著称。它们将微电子技术与微加工方法相结合，构建了重量轻、节能且价格合理的复杂系统。MEMS 非常重要，因为它们可以解决许多不同领域的难题。MEMS 加速度计、陀螺仪和压力传感器彻底改变了我们与消费电子产品互动的方式，使手势识别、图像稳定和精确导航等功能成为可能。由于基于 MEMS 的传感器和执行器，在医疗保健领域，用于监测生命体征、药物输送系统和微创手术器械的可穿戴设备的出现已成为可能，从而改善了患者护理和治疗效果。在汽车领域，MEMS 对于安全功能的实现也至关重要，包括安全气囊展开、轮胎压力监测和车辆稳定性控制。MEMS 技术还对能量收集系统、电信、航空应用和环境监测产生了重大影响。温度、压力、湿度、气体浓度和加速度是 MEMS 传感器用于测量和调节的因素之一。这些应用对提高生产率、降低成本和提高整体性能具有重大影响。然而，MEMS 技术的发展并非没有困难。技术挑战包括材料选择、设备集成和制造方法。其他持续存在的问题包括保证可靠性、耐用性和在大规模生产过程中保持高产量。索引术语 - MEMS、制造、监测、设备、蚀刻。
使用...提高 MEMS 陀螺仪性能
该项目的范围是研究使用噪声相关性和卡尔曼滤波来提高包含多个 MEMS 陀螺仪的传感器阵列性能的可能性。该项目基于 Bayard 和 Ploen 的工作，他们通过模拟表明，通过结合有利相关的陀螺仪的测量值可以提高 MEMS 陀螺仪的性能。此外，该项目还研究了使用期望最大化识别噪声相关性的可能性。该项目是与 CDL Scotland 合作提出和实施的，CDL Scotland 是海底惯性导航传感器和解决方案的开发商和提供商。CDL 为该项目设计了一个定制传感器板，其中包含八个中级陀螺仪和附加接口硬件。
用于生物医学应用的微机电系统 (MEMS)
摘要：电子微型化领域的重大进步已将科学兴趣转向一类新型精密设备，即微机电系统 (MEMS)。具体而言，MEMS 是指通常通过微加工技术生产的微尺度精密设备，该技术结合了机械和电气元件，用于完成通常由宏观系统执行的任务。尽管 MEMS 遍布日常生活的各个方面，但近年来，已有无数研究工作涉及 MEMS 在生物医学领域的应用，特别是在药物合成和输送、显微外科手术、微治疗、诊断和预防、人工器官、基因组合成和测序以及细胞操作和表征方面。MEMS 的巨大潜力在于其尺寸小的优势，包括易于集成、重量轻、功耗低、谐振频率高、可与电气或电子电路集成、由于大规模生产而降低制造成本以及高精度、高灵敏度和高吞吐量。在此背景下，本文旨在通过描述过去几年发展起来的制造主要材料和制造技术及其最常见的生物医学应用来概述 MEMS 技术。
具有准封闭振膜的 PZT MEMS 扬声器
非封闭式振膜的压电MEMS扬声器有望产生高声压级（SPL），但存在严重的振膜破裂问题。本文提出了一种具有准封闭式振膜的新型压电MEMS扬声器。准封闭式振膜由对角切割但中心相连的振膜组成，振膜上涂有一层薄薄的Parylene-C。在应力分散结构的共同作用下，Parylene-C薄膜的应用可防止振膜破裂并显著减少空气损耗。成功制作了尺寸为2.5×2.5 mm 2 的小尺寸MEMS扬声器，并在711耳模拟器中对其声学性能进行了测试。在驱动电压为4 V pp 下，测得的SPL在11.8 kHz时达到最大值124 dB。在 35 V pp 的电压下，低频范围 (20 – 500 Hz) 内的 SPL 进一步增加到 88 dB。
MEMS 设计中的建模和仿真软件
摘要 - 微机电系统 (MEMS) 是一种将机械和电气元件结合起来制造微型设备的工艺技术。如果我们对设计进行仿真，则可以大大降低设备的成本。有许多可用的仿真软件可供选择，而这又是主要挑战之一。本文探讨了 MEMS 设计中使用的一些软件的功能和技术特点。它进一步介绍了我们在选择软件时应该注意的要点。所有 MEMS 仿真软件都具有基本功能。但是，如果设计涉及特定的物理、几何、材料或网格划分，则必须进行搜索以找到合适的软件。如果用户打算制造该设备，则需要选择带有虚拟制造工具的软件。
PZT微型转移打印用于光子MEMS
铅锆钛酸盐（PZT）是一种广泛用于微电动机电（MEMS）技术的压电材料，主要是由于其强烈的压电和机电耦合系数[1]。然而，由于PT缓冲液的损失，传统上用于生长PZT薄膜[2]，因此其在光子综合电路（图片）中的应用受到限制。通过化学溶液沉积（CSD）方法[3]，具有透明缓冲层（LA 2 O 2 CO 3）生长的PZT膜[3]，并通过Pockel的调节证明了其在光子应用中的潜力[4]。但是，在这种方法中使用的薄缓冲层的自旋涂层需要平面样品表面，从而限制了其范围。微转移打印（µ tp）可能是绕过这种瓶颈的一种方法[5]。在本文中，我们报告了悬挂的长度高达4 mm的悬挂式PZT优惠券，宽度高达120 µm。然后，我们成功传输了SI基板上的PZT优惠券。这些结果证明了一种可以使PZT膜在芯片的所需位置中稳定的，而完整芯片均匀地平面化的技术。此外，此方法可以为各种光子学应用程序设计MEMS执行器提供额外的自由。