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1名学生，2个学生，全印度Shri Shivaji纪念协会工程学院机械工程系，印度浦那-01，印度摘要：MEMS：MEMS（Micro-Electromechanical Systems）是一项先进的技术，是一项先进的技术，它在多个领域中找到了其应用于多个领域，即自动性电子设备，医疗设备，硬盘驱动器，计算机外观，无用的Devices，无线电话，无线电话。本文专注于在汽车字段中仅应用MEMS设备的应用。压力传感器的汽车需求最大。压力传感器后，第二大需求是加速度计传感器。也需要其他传感器，例如声学，水分和压电传感器。近年来，具有广泛MEMS传感器的MEMS技术已在汽车行业中广泛使用，以至于至少30个具有100个传感器节点的现代车辆的传感器节点是MEMS，并且汽车行业是MEMS技术的第二大市场。关键字：MEM，压力传感器，汽车应用简介MEMS技术在各个应用领域都发现其重要性。该领域包括汽车，健康科学，工程结构，电气，物理，电子产品等。mems传感器已被汽车行业所接受，以提高绩效，降低成本并提高家庭轿车的可靠性，这在发展中国家至关重要。实际上，在过去的十年中，汽车已使用了数亿个MEMS传感器。这些传感器中的许多（例如MEMS压力传感器）只需用更便宜，更可靠的设备代替旧技术即可。MEMS设备的吸引人特征使几个研究人员对其进行了吸引，包括其高灵敏度，高灵活性，高可靠性，由于其微型尺寸，并行性等等，其在单个芯片上集成的能力。本文强调了汽车中MEMS传感器应用的主要领域。谈论MEMS组件，它主要由四个主要组成部分：微型抗体，微传感器，微结构和微电子学。1.1 M EMS制造大多数MEMS制造方法都是从标准IC技术中采用的。最常见的技术是：散装微加工和表面微加工。1）在散装微加工中进行体积微加工，通过选择性去除基材的部分，直接在硅晶片上建立了3D微型机械结构。底物上的裸露区域进行进一步的化学蚀刻。2）各向异性蚀刻利用硅晶格的晶体学结构。3）在此中的各向同性蚀刻硅底物是在所有方向上的攻击。4）表面微加工表面微加工是基于底物上层的沉积，以及通过光刻技术的随后定义微型机械结构的定义。
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