摘要 — 本文报道了一种三通道、非连续、流形多路复用器,工作频率为 220 至 330 GHz,工作带宽为 40%。该结构采用一组脊状基片集成波导 (SIW) 进行设计和实现。与传统 SIW 设计相比,脊状 SIW 提高了阻带带宽,并将整体结构尺寸缩小了 35%。三工器采用英特尔开发的有机封装基板技术,具有四层厚铜金属层和连续沟槽通孔代替标准通孔围栏,可显著降低脊状 SIW 波导的欧姆损耗。在三工器结构的开发中采用了电磁电路建模和协同设计技术。使用带状毫米波晶圆探测测量制造的三工器,通带中的插入损耗为 3 ∼ 7 dB,每个通道滤波器的平均回波损耗优于 10 dB。测得的三个通道的阻带衰减均优于 27 dB。
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