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1.1.1。球键故障球键故障是微电子包装中最常见的故障模式[2]。通常是由于热老化引起的金属间生长。来自金属间层中的微裂纹并削弱了键[3]。球键合AU,Cu,Ag基线到Al金属化形成热老化的金属间化合物(铝制)。[4]在不同的金属超声波或热音线键中有限的界面IMC形成会增加键强度。但是,过度的IMC形成可能导致债券的性能下降。IMC的厚度增加会产生较高的电阻,从而导致流动流动时较高的热量产生。这会产生乘数效应,因为由于电阻率升高而引起的加热促进了粘合界面中其他IMC的形成[5]。imcs的形成以及界面处的相关空隙和裂纹决定键的强度和可靠性。IMC的形成对粘结强度有益,但是它们的过度生长可以增加键和接触电阻的脆性,从而导致键失败[6]。

电线键合可靠性评估

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