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A.Bellakhdar a,b,* , A.Telia ba LMSF 半导体和功能材料实验室,Amar Telidji Laghouat 大学,阿尔及利亚 b Laboratoire des Microsystèmes et Instrumentation LMI, Département d'Electronique, Faculté de Technologie, Université des Frères Mentouri, 2 Campus Ahmed Hamani, Ain El Bey, Constantine, Algeria In本研究提出了具有不同 GaN 盖层厚度和重 n 掺杂 GaN 盖层的 GaN/AlInN/GaN 高电子迁移率晶体管 (HEMT)。为了研究 GaN 覆盖层对 (GaN/AlInN/GaN) 异质结构性能的影响,通过求解一维 (1 D) 泊松方程,提出了一种简单的 GaN/AlInN/GaN 高电子迁移率晶体管 (HEMT) 阈值电压分析模型,从而找到了二维电子气 (2DEG) 与控制电压之间的关系。分析中考虑了 AlInN/GaN 和 GaN/AlInN 界面处的自发极化和压电极化。我们的模拟表明,GaN 覆盖层降低了二维电子气 (2DEG) 的面密度,从而导致漏极电流减小,并且 n+ 掺杂的 GaN 覆盖层比未掺杂的 GaN 覆盖层具有更高的面密度。 (2021 年 11 月 28 日收到;2022 年 2 月 19 日接受)关键词:GaN 帽、GaN/AlInN/GaN HEMT、2DEG、2DHG、自发极化、压电极化

GaN 层厚度对两者的影响

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