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近年来，半导体、电子、光学、MEMS、生物医药等诸多领域对复杂形状的三维结构的需求日益增加。迄今为止，大多数微结构制造工艺源自半导体工艺，例如硅晶片的薄膜加工和厚膜加工1-3。这些过程不可避免地需要曝光过程。曝光工艺由于需要使用特殊的设备，成本较高，并且在材料方面也受到很多限制。因此，不使用曝光工艺的微结构制造技术的研究正在积极开展。代表性例子包括微加工和微电火花加工 (microEDM)1,4 等机械方法。特别是随着相关产业的发展，具有三维形状的微型齿轮零件的需求量也日益增大，而实现此类零件的批量生产是实现工业化的必要条件。通过使用模具的注塑工艺，可以大规模生产微型齿轮部件。注射成型根据成型材料不同分为塑料注射成型和粉末注射成型，而粉末注射成型又根据所用粉末的种类分为MIM（金属注射成型）和CIM（陶瓷注射成型）。目前，塑料齿轮一般采用塑料注塑工艺进行量产，但众所周知的事实是，采用塑料材料制造的微型齿轮零件在刚性和耐久性方面存在着极限。因此，最近正在积极研究使用粉末金属注射成型工艺而非塑料来生产微型齿轮零件。本研究是通过金属注射成型工艺制造微型齿轮状产品的基础研究。目的是利用粉末注射模芯的微细电火花加工来制造微型齿轮状芯。
微驱动部件成型的MIM模芯加工研究
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