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本文系统地比较了采用相同 CMOS 后端工艺的 CPW、慢波 CPW、微带和慢波微带的传输线特性阻抗与 Q 因子之间的关系。结果表明，最佳 Q 因子的特性阻抗取决于慢波传输线的地线间距。虽然从传播模式的角度来看，介质相似，但当慢波 CPW 的特性阻抗为 §23 ȍ 和慢波微带线的特性阻抗为 §43 ȍ 时，慢波传输线可实现 60 GHz 最佳 Q 因子，并且接地平面间隙越宽，Q 因子就越大。此外，结果表明，在芯片面积相同的情况下，慢波 CPW 的最佳 Q 因子比慢波微带高 12%。这里提供的数据可用于选择 CMOS 中 S-MS 和 S-CPW 无源器件的 Z 0 值，以最大化传输线 Q 因子。
CMOS 技术中的传输线特性阻抗与 Q 因子
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