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摘要 — 原子探针断层扫描是唯一能够以亚纳米分辨率测量所有化学元素的三维空间分布而不受质量或原子序数限制的技术。该技术在各种半导体器件的开发中发挥着重要作用。然而，在世界最发达地区之外，它仍然鲜为人知。考虑到这一点，本文旨在向巴西微电子学会介绍和讨论原子探针断层扫描技术，更重要的是，讨论它对纳米级器件开发的影响。首先，我们介绍原子探针断层扫描的工作原理和实验程序。接下来，我们介绍一些该技术在设备开发中应用的真实例子。最后，我们简要讨论了一个尚未实现的应用的可能性，即亚单层量子点的原子探针断层扫描。
论原子探针断层扫描对于……的重要性
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