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titre du阶段 /实习标题:通用确定性单离子“植入器”设置,具有纳米准确性简历 /由特定掺杂材料制成的量子量子电路,是用于量子通信和计算的基础。但是,由于非确定性离子源和准确性限制,当前的离子植入技术面临局限性。我们在这里建议为半导体和量子技术中的应用开发高精度,通用的“植入器”设置。为此,我们将利用由原子束的电离产生的每个电子/离子对之间的相关性,以根据电子给出的额外信息积极控制离子传递轨迹,如CS原子[Phys [Phys] [Phys。修订版应用11,064049,2019:https://doi.org/10.1103/physrevapplied.11.064049]。在亚纳米尺度上的受控离子来源的这种开发将打开植入,蚀刻,沉积和成像实验的独特视角,并将允许在半导体领域开发革命性的分析工具。为此,我们将通过使用飞秒脉冲多光子离子化来使原子束系统适应纤维原子束系统,从而产生“冷”离子源以提高准确性。其他离子的使用将使我们能够实现精确的离子轨迹控制和确定性的单离子创建。实习将包括在现有设置上使用CS测试该方法。可能在博士学位中的下一步将包括开发确定性的BI或N来源,以与新的FIB列集成以最终实现纳米尺度植入。

主QLMN(量子,光,材料和纳米科学)

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