机构名称：
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作为铁电材料，坦坦酸锂和硝酸锂具有相似的材料特征，例如高骨效应和非纤维光学系数。与尼贝特锂相比，坦坦酸锂提供了更高的光学损害阈值，更宽的透明窗口和较低的双折射，这使其成为高性能电光光子积分设备的有前途的候选者。在这项研究中，我们在声学级锂 - tantalate-in-umbulator晶圆上设计并成功地制造了微环谐振器，证明了它们的可调性和动态调制功能。实验结果表明，已实现的薄膜基于诱导的微锂基微环谐振器的内在Q因子为8.4×10 5，对应于0.47 dB/cm的波导传播损失，调谐效率为1.94 pm/v。更重要的是，与基于薄膜锂锂锂相比，在直接驱动器下，在1550 nm波长围绕1550 nm波长附近的光疗法效应和漂移现象较弱，在当前制造的薄膜lithium lithm lithm lithm lithm lithrate微环中，具有硅质氧化物氧化氧化物的微环，并在硅氧化物中过度呈硅质过度旋转，并置于可音机上的电极。
基于薄膜的诱导锂
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