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近年来，石墨烯纳米材料因其优异的电学和光电性能而引起了人们的广泛关注。基于等离子工程的石墨烯刻蚀可获得原子级薄层和极其洁净的表面，是一个热点问题，具有极高的工业应用价值。残留的污染物具有较高的固有粗糙度，导致性能下降。通过表面清洁方法和自上而下光刻逐层等离子刻蚀可以去除杂质。最近，基于新型等离子技术的刻蚀不会造成损坏并确保其π键，这对导电性和其他特性起着关键作用。因此，本章介绍了纳米材料（如石墨烯）新型刻蚀技术的最新进展以及基于这些技术的新兴应用。
石墨烯表面刻蚀新技术
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